恒歌SF系列IGS面板專用過(guò)濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過(guò)濾設(shè)備。該過(guò)濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，確保了過(guò)濾器的高可靠性和長(zhǎng)壽命。其過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm，能夠?qū)崿F(xiàn)9-LRV清潔度，有效保障氣體的超高純度。此外，該過(guò)濾器支持高達(dá)100slpm的大流量，助力設(shè)備升級(jí)無(wú)憂，適用于多種半導(dǎo)體工藝氣體，確保系統(tǒng)的高效運(yùn)行。

產(chǎn)品特點(diǎn)

●  整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

采用316L不銹鋼材質(zhì)，確保過(guò)濾器在高壓和腐蝕性氣體環(huán)境中的穩(wěn)定性和耐用性。這種材質(zhì)不僅堅(jiān)固耐用，還具有優(yōu)異的耐腐蝕性能，能夠有效抵御各種化學(xué)物質(zhì)的侵蝕。

●  小型化設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)緊湊、不占用空間

過(guò)濾器采用小型化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，不占用過(guò)多安裝空間。其優(yōu)異的氣體置換和解吸特性，確保氣體流動(dòng)順暢，過(guò)濾效率高。

●  耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

過(guò)濾器能夠在高溫、高壓和腐蝕性環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，確保氣體輸送系統(tǒng)的安全性和可靠性。其耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性使其成為半導(dǎo)體制造中不可或缺的設(shè)備。

●  電解拋光316L不銹鋼外殼

外殼采用電解拋光處理，表面光潔度高，減少氣體在輸送過(guò)程中的阻力和雜質(zhì)吸附，進(jìn)一步提升氣體的純凈度。

●  安裝與檢修便捷高效

過(guò)濾器的設(shè)計(jì)注重安裝和檢修的便捷性，采用機(jī)械密封技術(shù)，結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無(wú)焊接，確保密封性能的同時(shí)，降低了維護(hù)成本和設(shè)備停機(jī)時(shí)間。

●  采用機(jī)械密封、結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無(wú)焊接

采用機(jī)械密封技術(shù)，確保過(guò)濾器在運(yùn)行過(guò)程中的密封性能，避免氣體泄漏。結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無(wú)焊接，進(jìn)一步提高了過(guò)濾器的可靠性和安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

●  半導(dǎo)體制造

在半導(dǎo)體制造中，氣體的純凈度直接影響芯片的質(zhì)量和性能。SF系列IGS面板專用過(guò)濾器能夠有效去除氣體中的雜質(zhì)，確保氣體的高純度，從而提高芯片的良品率和生產(chǎn)效率。

●  集成氣體輸送與控制系統(tǒng)

該過(guò)濾器兼容C型和W型多種密封規(guī)格，能夠無(wú)縫集成到現(xiàn)有的氣體輸送與控制系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)高效的氣體凈化和輸送。

●  設(shè)備升級(jí)與模塊化設(shè)計(jì)

采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級(jí)。其緊湊的體型和便捷的安裝維護(hù)特性，使其成為設(shè)備升級(jí)的理想選擇。