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TF系列工藝氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便，僅需氣路對(duì)接與螺母緊固，避免焊接風(fēng)險(xiǎn)，確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率，...

擴(kuò)散器專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過(guò)濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室...

BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損，過(guò)濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...

RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器，通過(guò)與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合，安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中，以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障，引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中，用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

HF系列高壓氣體專用過(guò)濾器，用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合，兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...

DF系列擴(kuò)散器專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過(guò)濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，...

MF系列儀器保護(hù)專用過(guò)濾器，全金屬材質(zhì)，專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)，兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過(guò)濾器采用墊片式便捷安裝，是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下，能有效阻隔微粒侵...

OF系列在線式專用氣體過(guò)濾器，專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)，過(guò)濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...

SF系列IGS面板專用過(guò)濾器，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實(shí)現(xiàn)0.003um級(jí)高效顆粒過(guò)濾，保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量，適助力設(shè)備升級(jí)無(wú)憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊...

TF系列工藝氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便，僅需氣路對(duì)接與螺母緊固，避免焊接風(fēng)險(xiǎn)，確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率，...

TF系列工藝氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便，僅需氣路對(duì)接與螺母緊固，避免焊接風(fēng)險(xiǎn)，確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率，...