VCR(Vacuum Coupling Retainer)過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。
MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...
BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求,整體金屬構(gòu)造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經(jīng)高溫?zé)Y(jié)制成,具有良好的機械性和剛性,耐高溫、耐腐蝕、透氣,易于清潔的特點;濾芯式的設(shè)計可更換濾芯,可以重復(fù)使用,使用壽命長;可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質(zhì),改善下游干燥機的功能,延長精密...
0F系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計,過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...
在半導(dǎo)體制造過程中,氣體分配系統(tǒng)的潔凈度和密封性是確保生產(chǎn)順利進行的關(guān)鍵因素。微小的顆粒污染或泄漏都可能導(dǎo)致生產(chǎn)中斷,甚至影響芯片的質(zhì)量和性能。因此,選擇高質(zhì)量的VCR過濾墊片成為確保半導(dǎo)體生產(chǎn)順利進行的關(guān)鍵。恒歌科技作為專業(yè)的金屬燒結(jié)過濾...
在半導(dǎo)體制造過程中,氣體分配系統(tǒng)的純凈度直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和良率。任何微小的顆粒污染都可能導(dǎo)致設(shè)備故障或產(chǎn)品缺陷,造成巨大的經(jīng)濟損失。因此,選擇一款高效、可靠的過濾器至關(guān)重要。作為一家專業(yè)的不銹鋼燒結(jié)濾芯生產(chǎn)廠家,恒歌推出的MF系列儀器保...
在半導(dǎo)體行業(yè),氣源的純凈度、穩(wěn)定性和潤滑性對于保證生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。恒歌不銹鋼氣動三聯(lián)件由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大元件組成,采用不銹鋼材質(zhì),具有耐腐蝕、結(jié)構(gòu)精巧、工藝精良等特點。以下是恒歌不銹鋼氣動三聯(lián)件在半導(dǎo)體行業(yè)...
保護精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案:(1)這種全金屬過濾器專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計,可與 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 標準墊片接口無縫兼容。2) 墊圈式設(shè)計確保安裝簡便,是 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓...
在半導(dǎo)體制造的微觀世界里,哪怕是極其微小的雜質(zhì)顆粒都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)嚴重的缺陷,從而影響整個電子產(chǎn)品的性能和可靠性。因此,對于高壓高純氣體輸送系統(tǒng)中的氣體純凈度有著嚴苛的要求,這使得專業(yè)的氣體過濾設(shè)備成為了關(guān)鍵所在,而恒歌 HF 系列高壓氣...
KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...
直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì),線型結(jié)構(gòu)緊湊,用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體,以保護下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達207bar;最高工作溫度204℃;多種過濾精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。廣泛應(yīng)用于實驗室、...